主要特点:
1、不锈钢真空室及排气管道,放气量小,有利于提高真空抽速;
2、大抽速真空系统,辅助抽气设备,真空稳定、膜层质量好、生产效率高;
3、自主研发的新型真空排气结构,可有效避免粗抽时将镀膜室内的杂质抽入扩散泵;
4、自主研发的新型电阻蒸发结构,镀膜均匀性、结合力比传统蒸发结构有大幅提高
主要配置:
1、镀 膜 室:立式双开门箱式结构,不锈钢材质;
2、真空系统:大抽速抽气系统、不锈钢管道及阀门;
3、镀膜系统:每个门上配一套新型电阻蒸发机构;
4、控制系统:触摸屏+PLC,全自动或手动控制可转换;
5、安全装置:设置水、电、气异常的声光报警装置;
6、辅助抽气:快速循环低温水汽捕集器一套。
技术参数:
1、镀膜室内腔尺寸(mm): 深750、宽750、高1150;
2、整 机 尺 寸(mm):深4000、宽3000、高2100;
3、极限真空(新机、空载、干燥):≤6×10-4Pa
4、恢复真空抽气时间(新机、空载、干燥):大气抽至5×10-2Pa 小于3分钟,;
5、压升率:0.67Pa/h;
6、总功率:90 KW;
7、总重量:5吨。
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