设备特点：

实验用真空镀膜机具有外形美观、结构紧凑、占地面积小、易维护的特点。可实现全自动控制或手动控制、操作简单可靠，可自动记录存储各种工艺参数。

基本配置：

1、      箱式前开门结构，不锈钢或碳钢壳体，真空室尺寸Φ500～Φ800；

2、      真空系统可根据客户需求采用分子泵或扩散泵系统；

3、      PLC+触摸屏全自动控制系统；

4、      镀膜系统可选择电阻蒸发系统、磁控溅射系统、电子枪蒸发系统或热阴极电弧蒸发系统；

技术参数：

1、 极限真空（新机、空载、干燥）：5X10^-4Pa

2、 恢复真空抽气时间（新机、空载、干燥）：从大气抽至5×10^-2Pa≤5min

3、 循环水量：600L/H

4、 总重量：300KG

5、 蒸发电源功率：3KW

6、 总功率：15KW（单蒸发镀膜机）