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磁控溅射镀膜机
产品名称:ZFCJ系列蒸发磁控真空镀膜机
产品描述: ZJL系列真空镀膜机是立式双开门(或单开门)蒸发和磁控反应溅射两用设备,适用于塑料、陶瓷及金属材料表面镀制高档装饰膜和各种功能性薄膜(透明膜、半透明膜、不导电膜、电磁屏蔽膜等),广泛应用于电子、通讯、机械、轻工等多个领域。由于镀膜室为立式容器,所以它具有卧室镀膜机的一切优点,又利于自重较大的、易碎的镀件装卡,更可方便地实现自动生产线,是替代传统湿法水电镀的更为理想的新一代真空镀膜设备。
产品详情说明:

主要特点: 

1.  采用改进型高真空抽气系统,抽速快,效率高、节电、降噪和延长泵的使用寿命;

2.  蒸发、磁控溅射自动控制,操作简单、工作可靠。

3.  蒸发镀应用新型电极引入装置,接触电阻小、可靠。

4.  磁控溅射应用镀膜材料广泛,各种非导磁的金属,合金均可作镀料,膜层品质出众。

5.  适用于自重较大、易碎镀件的卡装,更可方便地实现自动生产。

 

基本配置:        

1. 真空室采用304不锈钢制造,立式双开门(或单开门)结构,真空室有效直径自Φ1000mmΦ1800mm

2. 真空系统采用机械泵、高真空油扩散泵、罗茨真空泵、水汽低温捕集器等;

3. 镀膜电源配蒸发电源、高压轰击电源、磁控电源;

4. 充气系统采用13路气体流量计及流量(控制)显示仪;

5. 冷却系统按照设计要求设用水压不足自动报警装置;

6. 电气控制系统设计有多种保护装置(水压、断电、误**作),全自动控制(触摸屏+PLC)整个生产过程。

 

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