主要特点:
1. 采用改进型高真空抽气系统,抽速快,效率高、节电、降噪和延长泵的使用寿命;
2. 蒸发、磁控溅射自动控制,操作简单、工作可靠。
3. 蒸发镀应用新型电极引入装置,接触电阻小、可靠。
4. 磁控溅射应用镀膜材料广泛,各种非导磁的金属,合金均可作镀料,膜层品质出众。
5. 适用于自重较大、易碎镀件的卡装,更可方便地实现自动生产。
基本配置:
1. 真空室采用304不锈钢制造,立式双开门(或单开门)结构,真空室有效直径自Φ1000mm~Φ1800mm;
2. 真空系统采用机械泵、高真空油扩散泵、罗茨真空泵、水汽低温捕集器等;
3. 镀膜电源配蒸发电源、高压轰击电源、磁控电源;
4. 充气系统采用1~3路气体流量计及流量(控制)显示仪;
5. 冷却系统按照设计要求设用水压不足自动报警装置;
6. 电气控制系统设计有多种保护装置(水压、断电、误**作),全自动控制(触摸屏+PLC)整个生产过程。
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