主要特点：

1、采用气体等离子源，对工件进行预清洗及镀膜时的辅助沉积或用于沉积DLC膜；

2、采用特殊的脉冲偏压电源，使工件与膜层获得更好的结合力；

3、采用多套孪生靶及弧，可同时安装2—4种不同纯金属或合金靶材，获得复合纳米镀层；

4、工件架采用公、自转结构，承重能力强及耐高温，并可移动出腔体，方便装卸比较重的模具。

5、触摸屏+PLC,可实现全自动控制，自动/手动随时切换；

基本配置：   

1、真空室立式单开门结构，304不锈钢制造，真空室内直径自Φ1000mm-Φ1300mm；

2、真空系统由旋片泵、罗茨泵和扩散泵或分子泵构成；

3、镀膜系统采用1-2台中频磁控溅射电源，配有1-2对非平衡磁控靶，并配有6-14个热阴极电弧；

4、大功率脉冲偏压电源；

5、充气系统采用国产或进口气体质量流量计、气体流量控制（显示）仪；

6、电控系统设置电路过载、断水、断气声光报警装置；

7、控制系统（触摸屏+PLC），实时显示详细参数，全自动控制整个生产过程，并自动存储工

应用范围：
1. 塑料成型模具：镜面模具，咬花模具、镁、铝合金加工模具
2. 汽车工业：燃料喷射系统（气门挺杆，柱塞，喷油嘴、活塞环，活塞销）
3. 纺织机械：精密轴承，纺织设备及零部件
4. 缝纫机配件：无油缝纫机部件如针杆、旋梭、导杆等
5. 切削刀具：钻头，铣刀等加工有色金属（铝、镁、铜及其合金）
6. PCB材料：微钻、量具如卡尺，卡规，塞规等
7. 医疗设备：手术刀片，手术剪刀
8. 刀具、冲头、丝攻、滚齿刀、插齿刀等切削刀具以及各种成型、折弯模具